特許

J-GLOBAL ID：200903078739155171

位置検出装置および露光装置

発明者： 帆引 豊 ,  白戸 章仁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-045005
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246302
出願日： 2001年02月21日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：

【要約】【課題】 薄い基板に対しても高精度に位置検出する。【解決手段】 基板Pの表面PSの法線に対して所定の入射角で表面PSに検知光Bを照射する送光部9a〜9cと、表面PSで反射した検知光BSを受光する受光部10a〜10cとを備え、基板Pの表面PSの法線方向の位置を検出する。送光部9a〜9cおよび受光部10a〜10cを、検知光Bの入射角が互いに異なるようにそれぞれ複数配置する。

請求項（抜粋）：

基板の表面の法線に対して所定の入射角で前記表面に検知光を照射する送光部と、前記表面で反射した前記検知光を受光する受光部とを備え、前記基板の表面の法線方向の位置を検出する位置検出装置であって、前記送光部および前記受光部は、前記検知光の入射角が互いに異なるようにそれぞれ複数配置されることを特徴とする位置検出装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G02B 7/28 ,  G03F 7/207

FI (4件)：

G01B 11/00 A ,  G03F 7/207 H ,  H01L 21/30 526 B ,  G02B 7/11 M

Fターム (26件)：

2F065AA06 ,  2F065AA24 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF44 ,  2F065GG21 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL28 ,  2F065MM03 ,  2F065UU07 ,  2H051AA10 ,  2H051BB29 ,  2H051CC02 ,  5F046CC05 ,  5F046DB05 ,  5F046DB10