特許
J-GLOBAL ID:200903078746211575
研磨排水の処理方法及び装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三浦 進二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-276690
公開番号(公開出願番号):特開平11-090434
出願日: 1997年09月25日
公開日(公表日): 1999年04月06日
要約:
【要約】【課題】 研磨排水を陽イオン交換体で処理した後、膜分離処理することにより、分離膜の目詰まりの虞を無くした研磨排水の処理方法及び装置を提供する。【解決手段】 半導体基板としてのウェハや半導体デバイスの中間製品等の被研磨物の研磨工程から排出される研磨排水を分離膜(例えば、限外濾過膜や逆浸透膜)を用いて膜分離処理するに当たり、研磨排水を陽イオン交換体(好ましくは、H形の弱酸性陽イオン交換樹脂)と接触させてイオン交換処理した後に、膜分離処理する。限外濾過膜及び/又は逆浸透膜により膜分離処理して得られる処理水は、(超)純水製造装置に供給される原水として用いることもできる。
請求項(抜粋):
研磨工程から排出される研磨排水を分離膜を用いて膜分離処理するに当たり、研磨排水を陽イオン交換体と接触させてイオン交換処理した後に膜分離処理することを特徴とする研磨排水の処理方法。
IPC (6件):
C02F 1/44
, B01D 61/02 500
, B01D 61/14 500
, C02F 1/42
, C09K 3/14 550
, H01L 21/304
FI (6件):
C02F 1/44 H
, B01D 61/02 500
, B01D 61/14 500
, C02F 1/42 B
, C09K 3/14 550
, H01L 21/304
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平3-038211
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特開平1-218602
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特開平1-135580
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