レジスト組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤幸久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-001143
公開番号（公開出願番号）：特開2008-170512
出願日： 2007年01月09日
公開日（公表日）： 2008年07月24日
要約：

【課題】レジスト調製時の溶解性、現像時のレジスト膜密着性の特性を高めるだけでなく、レジスト安定性を向上させ、安全性にも優れたレジスト組成物を提供する。【解決手段】レジスト成分と有機溶剤を含むレジスト組成物であって、該有機溶剤が、(a)(a1)4〜8員のC2-6環状エーテル骨格を有するアルコール及び(a2)4〜7員のシクロアルカン環を有するシクロアルキルアルカノールからなるアルコール化合物群、(b)(b1)4〜8員のC2-6環状エーテル骨格を有するアルコールのアセテート及び(b2)4〜7員のシクロアルカン環を有するシクロアルキルアルカノールのアセテートからなるアセテート化合物群、および(c)(c1)4〜8員のC2-6環状エーテル骨格を有するアルコールのアルキルエーテル等からなるエーテル化合物群より選ばれた少なくとも1種の有機溶剤であるレジスト組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

レジスト成分と有機溶剤を含むレジスト組成物であって、該有機溶剤として、(a)(a1)4〜8員のC2-6環状エーテル骨格を有するアルコール及び(a2)4〜7員のシクロアルカン環を有するシクロアルキルアルカノールからなるアルコール化合物群、(b)(b1)4〜8員のC2-6環状エーテル骨格を有するアルコールのアセテート及び(b2)4〜7員のシクロアルカン環を有するシクロアルキルアルカノールのアセテートからなるアセテート化合物群、および(c)(c1)4〜8員のC2-6環状エーテル骨格を有するアルコールのアルキルエーテル及び(c2)4〜7員のシクロアルカン環を有するシクロアルキルアルカノールのアルキルエーテルからなるエーテル化合物群より選ばれた少なくとも1種の有機溶剤を含むレジスト組成物。

IPC (1件)：

G03F 7/004

FI (1件)：

G03F7/004 501

Fターム (12件)：

2H025AA04 , 2H025AA11 , 2H025AA14 , 2H025AB13 , 2H025AB14 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CC03

引用特許：

出願人引用 (2件)

特公平3-1659号公報
ポジ型ホトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-132484 出願人：東京応化工業株式会社

審査官引用 (5件)

感光性転写材料、液晶配向制御用突起及びその形成方法、並びに、液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-029123 出願人：富士写真フイルム株式会社
光硬化性組成物、光硬化膜の製造方法、カラーフィルター及びカラーフィルターの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-058986 出願人：富士フイルムアーチ株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物およびレジスト像の製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-208527 出願人：日立化成工業株式会社

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