特許
J-GLOBAL ID：200903078749361861
金属酸化物蒸着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-097641
公開番号（公開出願番号）：特開平8-325710
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：
【要約】【課題】 透明でガスバリア性に優れた金属蒸着品を得る。【解決手段】 蒸発源より蒸発した金属を、冷却ドラム上に支持された基材の表面に付着させるに際し、基材表面と基材表面から少なくとも10mm以上200mm以下の間の金属蒸気飛翔空間に少なくとも酸化性ガスを含むガスから形成されるプラズマを形成せしめ、該金属蒸気と該プラズマによって活性化されたガスとを反応せしめた後、基材表面に付着させることを特徴とする、金属酸化物蒸着方法。
請求項（抜粋）：
蒸発源より蒸発した金属を、冷却ドラム上に支持された基材の表面に付着させるに際し、基材表面と基材表面から少なくとも10mm以上200mm以下の間の金属蒸気飛翔空間に少なくとも酸化性ガスを含むガスから形成されるプラズマを形成せしめ、該金属蒸気と該プラズマによって活性化されたガスとを反応せしめた後、基材表面に付着させることを特徴とする、金属酸化物蒸着方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/08 A
, C23C 14/20 A
