特許

J-GLOBAL ID：200903078786636234

大気及びガス置換型走査トンネル顕微鏡

発明者： 三重野公利 ,  宮野健治
出願人/特許権者： 日本電子株式会社 ,  日本電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-135989
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347260
出願日： 1993年06月07日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：

【要約】【目的】 ガス置換の時間を短縮し、探針の取り付け固定を容易にすると共に、その位置ずれを防止し、かつ探針の試料へのアプローチにおける微小送りを可能にする。【構成】 耐真空容器にガス排出バルブ及び導入バルフを設けてガス置換可能にするとともに、耐真空容器内に配置する探針を弾性的にコレクトチャック方式で固定し、探針をX,Y,Z方向に駆動する振動子を保持する摺動子を、回転により上下方向に粗動し、差動ネジにより上下方向に回転せずに微動する主軸により、テコを介してZ方向に駆動することを特徴とする

請求項（抜粋）：

ガス排出バルブ及び導入バルフが設けられた耐真空容器内に配置され、試料が載置される試料ステージと、弾性的にコレクトチャック方式で固定され、試料に対向配置される探針と、探針をX,Y,Z方向に駆動する振動子と、振動子を保持し、Z方向に摺動可能な摺動子と、摺動子をZ方向に駆動する駆動機構とを備えた走査トンネル顕微鏡であって、前記駆動機構は、回転により上下方向に粗動し、差動ネジにより上下方向に回転せずに微動する主軸を有し、主軸の上下動によりテコを介して摺動子をZ方向に駆動することを特徴とする大気及びガス置換型走査トンネル顕微鏡。

IPC (2件)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-041304
  
• 特開平3-154811
  
• 特開平4-286908