特許
J-GLOBAL ID：200903078789798685
線形及び非線形光学感受率測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石黒 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-014254
公開番号（公開出願番号）：特開平5-158084
出願日： 1991年02月05日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】 試料の屈折率、膜厚、SHGあるいはTHGの光強度分布を測定し、線形及び非線形光学感受率を測定する。【構成】 試料3に光を当てる光照射手段2と、グレーティングカプラー5と結合した試料3に当たって反射した光を測定するイメージセンサ6と、試料3を通過した光の強度を測定する光強度検出センサ7と、イメージセンサ6および光強度検出センサ7の出力から、屈折率、膜厚、SHGあるいはTHGの光強度分布を測定するとともに、光照射手段2の光出力強度を用いて、線形及び非線形光学感受率を測定する。
請求項（抜粋）：
(a) 単結晶又は光導波用のグレーティングカプラーと接して配置されたフィルム又は薄膜状の試料、あるいは前記グレーティングカプラーの配されていないフィルム又は薄膜状試料に、光を当てる光照射手段と、(b) 前記グレーティングカプラーと接した試料に光を当て、前記グレーティングカプラーによって一度試料中で導波され、再び前記グレーティングカプラーの外部へ放射された光又はブリュスターアングルを検出するリニアイメージセンサと、(c) 前記グレーティングカプラーの配されていない試料に光を当て、入射光によって励起された試料からのセカンドハーモニックゼネレーション、あるいはサードハーモニックゼネレーションの光強度分布を検出する光強度検出センサと、(d) 前記イメージセンサの検出結果から、試料の屈折率を算出する屈折率算出手段、フィルム又は薄膜試料の膜厚を測定する膜厚算出手段を備えるとともに、試料の屈折率、膜厚、セカンドハーモニックゼネレーションあるいはサードハーモニックゼネレーションの光強度分布、及び前記光照射手段の高調波光出力強度から、試料の非線形光学感受率を算出する非線形光学感受率算出手段を備える信号処理装置とを具備する線形及び非線形光学感受率測定装置。
IPC (3件)：
G02F 1/35
, G01B 11/06
, G01N 21/41
