特許

J-GLOBAL ID：200903078798514975

薄型静電偏向器及び走査型荷電粒子ビーム装置

発明者： 田中 浩
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 柏谷 昭司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-072917
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268755
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 薄型静電偏向器及び走査型荷電粒子ビーム装置に関し、短い作動距離のもとでも広い走査範囲を得、また、多数の電子ビームを同時に試料に照射した場合の検出信号間のクロストークを防止する。【解決手段】 互いに対向する少なくとも1対の偏向電極3からなる偏向電極組を少なくとも1組を備えた薄型静電偏向器を構成する偏向電極3の対向方向の長さを厚さより大きくして偏平状とし、試料と偏向電極3との間の空間に主とした偏向作用を持つ電場を形成する。

請求項（抜粋）：

互いに対向する少なくとも1対の偏向電極からなる偏向電極組を少なくとも1組を備えた薄型静電偏向器において、前記偏向電極の対向方向の長さを厚さより大きくして偏平状にし、試料と前記偏向電極との間の空間に主とした偏向作用を持つ電場を形成することを特徴とする薄型静電偏向器。

IPC (2件)：

H01J 37/147 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01J 37/147 B ,  H01J 37/147 C ,  H01L 21/30 541 B

Fターム (5件)：

5C033FF01 ,  5C033GG02 ,  5F056CB13 ,  5F056CC04 ,  5F056EA06