特許
J-GLOBAL ID：200903078810028771
液晶表示装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-041480
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253992
出願日： 1998年02月24日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、2重ゲートバス配線を備える液晶表示装置及びその製造方法に関する。ソースバス配線とソースパッドの下に半導体物質を積層し、ダミーソースバス配線及びダミーソースパッドを形成することにより、ソースバス配線及びソースパッドを形成する金属がストレスによる亀裂で断線される問題点を解決する。製品の不良を大幅に減少させ、生産の歩留まりが向上する。【解決手段】 基板101のゲート絶縁膜117上に、半導体層と不純物半導体層を積層することによりダミーソースバス配線139及びダミーソースパッド149を形成する。この工程はトランジスタ形成工程と共用できる。これらを覆うように、クロームのような表面安定度が高い金属でソースバス配線123、ソースパッド125を形成する。
請求項（抜粋）：
液晶表示装置の製造工程において、基板上にゲートバス配線を形成する段階と、前記ゲートバス配線上に絶縁膜を形成する段階と、前記絶縁膜上にダミー層を形成する段階と、前記ダミー層を覆うようにソースバス配線とソースパッドを形成する段階とを備えることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
IPC (3件)：
G02F 1/136 500
, H01L 29/786
, H01L 21/336
G02F 1/136 500
, H01L 29/78 616 J
, H01L 29/78 617 N
, H01L 29/78 618 A
, H01L 29/78 627 C
