特許

J-GLOBAL ID：200903078814286457

振動アクチュエータ

発明者： 菅谷 功
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295337
公開番号（公開出願番号）：特開2001-119970
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】 部品点数が少なく、正逆両方向に回転することができる縦-捩じり型の超音波アクチュエータを提供する。【解決手段】 縦振動と捩じり振動を合成して、駆動力を取り出す超音波アクチュエータであって、弾性体14と,弾性体14の一部に形成され、伸縮変形を受けて捩じり振動を発生する捩じり変換部12Aと,弾性体14の捩じり変換部12Aの外表面に設けられ、伸縮変形を発生する捩じり励振用の圧電素子16a,16a’とを備えた。

請求項（抜粋）：

所定の回転軸回りに振動する捩じり振動と、前記回転軸方向に振動する縦振動とを行うことによって、前記回転軸方向の端面に楕円運動を発生させる弾性体と、前記弾性体の外表面に設けられ、伸縮変形を発生する捩じり励振用電気機械変換素子と、前記弾性体の一部に形成され、前記伸縮変形を受けて、前記捩じり振動を発生する捩じり変換部と、を備えた振動アクチュエータ。

IPC (2件)：

H02N 2/00 ,  H01L 41/09

FI (2件)：

H02N 2/00 C ,  H01L 41/08 C

Fターム (20件)：

5H680AA06 ,  5H680AA08 ,  5H680AA19 ,  5H680BB04 ,  5H680BB15 ,  5H680BC01 ,  5H680CC02 ,  5H680DD13 ,  5H680DD26 ,  5H680DD36 ,  5H680DD53 ,  5H680DD55 ,  5H680DD75 ,  5H680DD88 ,  5H680EE03 ,  5H680EE12 ,  5H680FF25 ,  5H680FF30 ,  5H680FF35 ,  5H680FF36