特許

J-GLOBAL ID：200903078822032642

微粒子分析装置およびその方法

発明者： 武 内 一 夫 ,  奥 山 喜久夫 ,  京 藤 倫 久 ,  阪 田 健 一
出願人/特許権者： 理化学研究所
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-097320
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288601
出願日： 1997年04月15日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】 ナノメータオーダの微粒子の粒径や粒子数、成分等を定量的に求めることができる微粒子分析装置およびその方法を提供する。【解決手段】 本発明による微粒子分析装置は、大気雰囲気中に浮遊する微粒子を引き込むサンプリング装置1と、引き込んだ個々の微粒子を帯電させる荷電装置2と、帯電した微粒子を電気移動度に応じて粒径毎に分級する微分型電気移動度分級器(DMA)3と、分級された微粒子毎にその成分および量を測定する高周波誘導結合プラズマ質量分析計(ICP-MS)4と、分級された微粒子の粒子数を計数するファラデーカップ電流計(FCE)5とを備えている。なお、高周波誘導結合プラズマ質量分析計4とファラデーカップ電流計5とは、微分型電気移動度分級器3に分岐部6を介して並列に接続されている。

請求項（抜粋）：

雰囲気中に浮遊する微粒子を分析する微粒子分析装置において、雰囲気中から引き込まれた微粒子を帯電させる荷電装置と、前記荷電装置にて帯電した微粒子を粒径毎に分級する分級器と、前記分級器により分級された微粒子毎にその成分および量を測定する質量分析計とを備えたことを特徴とする微粒子分析装置。

IPC (2件)：

G01N 27/68 ,  G01N 27/64

FI (2件)：

G01N 27/68 A ,  G01N 27/64 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• エアロゾル粒子質量分析器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-222789   出願人：工業技術院長
• 特開昭62-043450