特許
J-GLOBAL ID：200903078828531365
圧電アクチュエータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-081717
公開番号（公開出願番号）：特開平11-277740
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、さらに微細な部分の駆動が可能であると共に信頼性を向上し且つコストダウンを図ることができる圧電アクチュエータを提供することを課題とする。【解決手段】 それぞれ直方体形状の駆動部4と非駆動部5とが交互に配列されると共に互いに一体に形成され、駆動部4はPZTからなる圧電体層6と電極層7とが交互に積層された構造を有し、非駆動部5は、PZTからなる圧電体層8と空隙層9とが交互に積層された構造を有している。
請求項（抜粋）：
圧電体層と電極層とが交互に積層された駆動部と、圧電体層と空隙層とが交互に積層された非駆動部とを、交互に配列すると共に互いに一体に構成したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (4件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/083
, H02N 2/00
B41J 3/04 103 A
, H02N 2/00 B
, H01L 41/08 S
