特許
J-GLOBAL ID：200903078834810802
金属酸化物ガラスの膜および球体微粒子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅 直人 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-278184
公開番号（公開出願番号）：特開平6-199528
出願日： 1992年09月21日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【目的】 低温領域において、単一または多成分系金属酸化物ガラスの薄膜ないしは球体微粒子を効率よく製造する方法を提供する。【構成】 水と有機溶媒とからなる反応液中で、B+ イオンの存在下、ハロゲンイオン(F- 、Cl- )を触媒として有機金属化合物を加水分解、脱水縮合させ、200°C以下でガラス化させ、単一または多成分系金属酸化物ガラスの膜(pH5.0〜4.5で反応)および球体微粒子(pH8〜10で反応)を製造する。【効果】 耐熱性、耐高湿性、絶縁性、ガスバリアー性およびイオンマイグレーション防止性に優れた透明均質なガラスが常温領域で可能。
請求項（抜粋）：
加水分解可能な有機金属化合物を、水と有機溶媒とからなる反応液中において、ホウ素イオンの存在下でハロゲンイオンを触媒とし、pHを4.5〜5.0に調整しながら加水分解、脱水縮合させた後、反応生成物を基材表面に塗布し、200°C以下の温度でガラス化させることを特徴とする単一または多成分系金属酸化物ガラスの膜の製造方法。
IPC (3件)：
C03B 8/02
, C03B 19/12
, C03C 3/12
