特許

J-GLOBAL ID：200903078835366523

電子線照射装置

発明者： 水澤 健一 ,  島岡 義治 ,  加藤 健治
出願人/特許権者： 日新ハイボルテージ株式会社
代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-249532
公開番号（公開出願番号）：特開平11-072600
出願日： 1997年08月28日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】 電子線を走査せず複数の平行なフィラメントから出た電子線をそのまま加速して被処理物に照射する非走査型の電子線照射装置において電子線の発生領域が照射窓のおいて狭い中央部に偏在する。ために窓箔が局所加熱される。電子線分布をより均一化して窓箔の寿命を延長する。【解決手段】 照射窓に設けるフィラメントを搬送方向に対して傾斜角Θをなすように設けている。

請求項（抜粋）：

複数の平行なフィラメントを加熱して熱電子を発生させ走査する事なく熱電子を加速し照射窓の窓箔を通して一定方向に搬送される被処理物に照射する電子線照射装置において、フィラメントを搬送方向に対して平行でなく、傾斜させて設けたことを特徴とする電子線照射装置。