特許

J-GLOBAL ID：200903078837437975

倣いプローブ

発明者： 西村 国俊 ,  桑原 義治
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 実三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-136779
公開番号（公開出願番号）：特開平5-332766
出願日： 1992年05月28日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：

【要約】【目的】 高速測定、かつ、測定圧一定の倣いが可能な上、検出精度が高く、温度変化に対しても安定した倣いプローブを提供する。【構成】 基体1に平行板ばね4,6を介してXテーブル5およびYテーブル7を直交する方向へ変位可能に支持し、この両テーブル5,7に平行板ばね17,18を介してXYテーブル19を支持し、このXYテーブル19にスタイラス22を設けるとともに、基体1に各テーブル5,7を各軸方向へ変位させる駆動源13x,14x、13y,14yを設ける。可動側の慣性負荷の増加がないから応答性が高く、高速測定できる。しかも、駆動源が外部に配置されているから、駆動源の放熱効果も高めることができ、安定したプローブを実現できる。

請求項（抜粋）：

基体と、この基体に互いに直交する方向へ変位可能に設けられた一対の変位部材と、この両変位部材に連結され各変位部材の変位に連動してそれと同方向へ変位可能な可動部材と、この可動部材に設けられたスタイラスと、前記基体に設けられ前記各変位部材を互いに直交する方向へ変位させる駆動手段と、を具備したことを特徴とする倣いプローブ。

IPC (2件)：

G01B 21/20 101 ,  B23Q 35/26

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-064206
  
• 特開昭50-034849
  
• 特開昭49-065857