特許

J-GLOBAL ID：200903078837491333

シート状コネクターおよびその製造方法並びにプローブ装置

発明者： 佐藤 克己 ,  井上 和夫
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-358105
公開番号（公開出願番号）：特開2004-172588
出願日： 2003年10月17日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】 径が小さく、突出高さ/径が高く、寸法精度の高い表面電極部を有する電極構造体を、高い位置精度で形成でき、小さいピッチの電極に対しても安定な電気的接続状態が確実に得られるシート状コネクターおよびその製造方法並びにプローブ装置の提供。【解決手段】 本発明のシート状コネクターは、絶縁性シートと、絶縁性シートに面方向に互いに離間して配置された、突起状の表面電極部および裏面電極部が短絡部によって互いに連結されてなる複数の電極構造体とを有し、絶縁性シートは、エッチングによって貫通孔の形成が可能な材料よりなり、短絡部は、絶縁性シートにエッチングによって形成された貫通孔に金属が充填されることによって形成され、表面電極部は、絶縁性シートの表面に形成されたレジスト膜のパターン孔に、金属が充填されることによって形成されたものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

絶縁性シートと、 この絶縁性シートにその面方向に互いに離間して配置された、当該絶縁性シートの表面に露出する突起状の表面電極部および当該絶縁性シートの裏面に露出する裏面電極部が、当該絶縁性シートをその厚み方向に貫通して伸びる短絡部によって互いに連結されてなる複数の電極構造体と を有するシート状コネクターであって、 前記絶縁性シートは、エッチングによって貫通孔を形成することが可能な材料よりなり、 前記電極構造体における短絡部は、前記絶縁性シートにエッチングによって当該短絡部に対応するパターンに従って形成された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔の各々に、金属が充填されることによって形成されたものであり、 前記電極構造体における表面電極部は、前記絶縁性シートの表面に当該表面電極部に対応するパターンに従って形成されたパターン孔を有するレジスト膜における当該パターン孔に、金属が充填されることによって形成されたものであることを特徴とするシート状コネクター。

IPC (4件)：

H01L21/66 ,  G01R1/06 ,  G01R31/28 ,  H01R11/01

FI (4件)：

H01L21/66 B ,  G01R1/06 E ,  H01R11/01 501H ,  G01R31/28 K

Fターム (21件)：

2G011AA09 ,  2G011AA16 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AC31 ,  2G011AE01 ,  2G011AE03 ,  2G132AA00 ,  2G132AA20 ,  2G132AB01 ,  2G132AB03 ,  2G132AE30 ,  2G132AF10 ,  2G132AL03 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106DD04 ,  4M106DD10

引用特許：

出願人引用 (4件)

• バンプ付きメンブレンリングの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-187088   出願人：ホーヤ株式会社
• 特開昭51-93393号公報
  
• 特開昭53-147772号公報
  
• 特開昭61-250906号公報