特許
J-GLOBAL ID：200903078840970382
液相エピタキシャル法による鉄ガーネット厚膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-051153
公開番号（公開出願番号）：特開平10-231198
出願日： 1997年02月20日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：
【要約】【課題】 基板を支持するための前記爪片が原因となっているクラックや不良部分の発生を極力少なくすること【解決手段】 吊り下げ治具2としては、基板1の下面に引っ掛かって当該基板1を支持する爪片21を下端に有する少なくとも3本の指部材22を備えたものを用い、爪片21の水平に対する角度φを、その爪片21で前記基板1を支持する点における鉄ガーネット厚膜5のファセット面5aが膜面となす角度θに近い角度に設定することとした。角度φは、角度θの1/2より大きくて、(θ+10°)より小さい範囲が望ましい。
請求項（抜粋）：
非磁性ガーネット基板を吊り下げ治具により水平に支持して原料溶液の液面に接触させ、当該基板の下面の鉄ガーネット厚膜を成長させる方法において、前記吊り下げ治具は、前記基板の下面に引っ掛かって当該基板を支持する爪片を下端に有する少なくとも3本の指部材を備えたものであり、前記爪片の水平に対する角度φを、その爪片で前記基板を支持する点における鉄ガーネット厚膜のファセット面が膜面となす角度θに近い角度に設定することを特徴とする液相エピタキシャル法による鉄ガーネット厚膜の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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