特許
J-GLOBAL ID：200903078855286305
回路パターン検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-180934
公開番号（公開出願番号）：特開平8-021710
出願日： 1994年07月07日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：
【要約】【目的】 商品価値の低下という観点から回路パターンにおける欠陥を分類して報告する。【構成】 検査対象の画像である対象画像Objに対し、測長部20a、量子化誤差除去部22a、2値化部24aによる処理を行なうことにより、幅異常の情報を得る。参照画像Refに対しても同様の処理を行なうことにより、幅異常の情報を得る。次に、インバータ28c及びANDゲート32aにより、対象画像における幅異常から参照画像にも存在する幅異常が除去された幅異常信号Swを得る。対象画像と参照画像の白黒を反転させた画像についても同様の処理を行なうことにより、間隙異常信号Ssを得る。一方、欠損/残銅分離部16による処理と上記に類似の処理により、対象画像と参照画像の差異である欠損系/残銅系欠陥を検出し、各欠陥の重要度を上記信号Sw、Ss及び欠陥面積の指標となる信号Sz1、Sz2に基づいて判定し、その判定結果として欠陥種別を示す信号Sdを出力する。
請求項（抜粋）：
回路パターンが形成された検査対象物のパターンを画素毎に読み取って得られる画像データに基づき、前記検査対象物に形成された回路パターンにおける欠陥を検出する回路パターン検査装置において、a)前記画像データによって表わされる被検査画像を、欠陥のない前記検査対象物のパターンを示す参照画像と比較し、両画像の差異部分を検出する差異検出手段と、b)前記被検査画像における回路パターンの幅又は間隙が所定の許容範囲から外れている異常部分に対して第1異常情報を生成する第1異常検出手段と、c)第1異常情報に基づき、差異検出手段によって検出された各差異部分の欠陥としての重要度を判定する重要度判定手段と、d)前記差異部分を前記重要度と共に報告する報告手段と、を備えることを特徴とする回路パターン検査装置。
IPC (5件)：
G01B 11/24
, G06T 7/00
, H01L 21/027
, H01L 21/66
, H05K 3/00
G06F 15/62 405 A
, H01L 21/30 502 V
