特許
J-GLOBAL ID：200903078858784446
めっき装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 美次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-091623
公開番号（公開出願番号）：特開平5-263289
出願日： 1992年03月17日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【目的】めっき膜厚及び膜組成の面内分布を均一化できるめっき装置を提供する。【構成】めっき槽1は、槽10内にめっき液11を収納し、めっき液11が供給側から回収側に向かう流れを有する。カソード電極2はめっき槽1の底部15に配置され、被めっき物4のめっき面に面接触する。アノード電極3はめっき液中においてカソード電極2の上方に間隔を隔てて対向して配置されている。カソード電極2及びアノード電極3は対向面が相対的に傾斜している。
請求項（抜粋）：
めっき槽と、カソード電極と、アノード電極とを含むめっき装置であって、前記めっき槽は、槽内にめっき液を収納し、前記めっき液が供給側から回収側に向かう流れを有しており、前記カソード電極は、前記めっき槽の底部に配置され、被めっき物のめっき面に面接触するものであり、前記アノード電極は、前記めっき液中において前記カソード電極の上方に間隔を隔てて対向して配置されており、前記カソード電極及び前記アノード電極は、対向面が相対的に傾斜しているめっき装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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