特許
J-GLOBAL ID:200903078863257772
半導体記憶装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-017077
公開番号(公開出願番号):特開平11-214537
出願日: 1998年01月29日
公開日(公表日): 1999年08月06日
要約:
【要約】【課題】 ビット線に接続されたトランジスタが、メモリセル側とダミーセル側とで回路の性質上180度逆向きのパターンで形成されており、プロセス変動によりトランジスタの特性が変動し、誤動作を招くおそれがあった。【解決手段】 ダミーセルDCのデータが読み出されるビット線WBと、メモリセルMCのデータが読み出されるビット線RBとが交差しており、ダミーセルDC側のビット線WBに接続されたトランジスタDT1と、メモリセルMC側のビット線RBに接続されたトランジスタMT1の回路パターンを同じ向きで形成することができるので、プロセス変動によりパターンにずれが生じた場合にも、トランジスタDT1とトランジスタMT1とは同相で特性が変動し、誤動作の発生が防止される。
請求項(抜粋):
第1及び第2のビット線から成るビット線対に少なくとも1つのダミーセルと少なくとも1つのメモリセルとが設けられた半導体記憶装置において、前記ダミーセルは、一方の端子が前記第1のデータ線に接続され、ゲートがダミーセル用ワード線に接続された第1のダミーセルトランジスタと、一方の端子が前記第1のダミーセルトランジスタの他方の端子に接続され、ゲートに基準電位を入力され、他方の端子が接地された第2のダミーセルトランジスタと、一方の端子が前記第2のダミーセルトランジスタのゲートに接続され、他方の端子が接地された容量とを有し、前記メモリセルは、一方の端子が前記第2のデータ線に接続され、ゲートが第1のメモリセル用ワード線に接続された第1のメモリセルトランジスタと、一方の端子が前記第1のメモリセルトランジスタの他方の端子に接続され、他方の端子が接地された第2のメモリセルトランジスタと、一方の端子が前記第2のメモリセルのゲートに接続され、他方の端子が接地された容量と、一方の端子が前記第1のデータ線に接続され、ゲートが第2のメモリセル用ワード線に接続され、他方の端子が前記第2のメモリセルトランジスタのゲートに接続された第3のメモリセルトランジスタとを有し、前記第1のデータ線と前記第2のデータ線とが、前記メモリセルが設けられたされた領域と前記ダミーセルが設けられた領域との間において交差していることにより、前記第1のダミーセルトランジスタの回路パターンと前記第1のメモリセルトランジスタの回路パターンとの向きが同一であることを特徴とする半導体記憶装置。
IPC (3件):
H01L 21/8242
, H01L 27/108
, G11C 11/401
FI (2件):
H01L 27/10 321
, G11C 11/34 362 B
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