被処理材の固定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-320741
公開番号（公開出願番号）：特開平8-181200
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【目的】被処理材の平面度を損なうことなく、また、ステージの移動時の加減速度でずれることがないように、被処理材を確実に固定でき、処理精度の向上を可能とした被処理材の固定装置を提供する。【構成】ステージ1の上面に、複数の支持部12...および真空チャック22,22を配設し、支持部12...により被処理材6を水平状態に3点支持すると共に、被処理材6の平面度を損なうことのない端面6aを、真空チャック22,22で真空吸着する構成とした。

請求項（抜粋）：

矩形平板状の被処理材を、ステージ上に固定する被処理材の固定装置であって、前記ステージ上、かつ前記被処理材の下面の少なくとも3点を支持する状態に配設された複数の支持部を有し、前記被処理材をその重力方向の位置決めを行った状態で水平に支持する支持手段と、この支持手段により支持された前記被処理材の端面に対向する位置に配設された吸着固定部材を有し、前記被処理材の端面を吸着固定して被処理材の動きを規制する吸着固定手段と、を具備してなることを特徴とする被処理材の固定装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (2件)：

H01L 21/30 502 V , H01L 21/30 515 F

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