特許
J-GLOBAL ID：200903078867013614
洗浄方法及び洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-043116
公開番号（公開出願番号）：特開平7-222961
出願日： 1994年02月16日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：
【要約】【目的】 炭化水素系洗浄液を用いて被洗浄物を効率よく洗浄することが可能な洗浄方法及び洗浄装置を提供する。【構成】 炭化水素系の洗浄液1を入れた洗浄槽2の気相中に被洗浄物(洗浄治具3)を保持し、真空(減圧)下に、洗浄槽2の気相中に洗浄液蒸気を供給して、リンス洗浄を行いつつ被洗浄物を加温するリンス洗浄・加温工程と、洗浄槽2内の真空度をリンス洗浄・加温工程の真空度より上昇させ、所定の温度にまで加温された被洗浄物を洗浄槽2内の洗浄液1中に浸漬して、加温された被洗浄物の表面より洗浄液1を沸騰バブリングさせて洗浄を行う浸漬洗浄工程とを組み合わせる。
請求項（抜粋）：
炭化水素系の洗浄液を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄方法において、洗浄液を入れた洗浄槽の気相中に被洗浄物を保持し、真空(減圧)下に、洗浄槽の気相中に洗浄液蒸気を供給して、リンス洗浄を行いつつ被洗浄物を加温するリンス洗浄・加温工程と、洗浄槽内の真空度を前記リンス洗浄・加温工程の真空度より上昇させ、所定の温度にまで加温された被洗浄物を洗浄槽内の洗浄液中に浸漬して、加温された被洗浄物の表面より洗浄液を沸騰バブリングさせて洗浄を行う浸漬洗浄工程とを含むことを特徴とする洗浄方法。
IPC (2件)：
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