特許
J-GLOBAL ID：200903078886627127
照明装置及びそれを用いた露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-193123
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013289
出願日： 1992年06月25日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】 パターン形状の方向や線幅等により最適な照明系を選択して高解像力の投影露光が可能な半導体素子の製造に好適な照明装置及びそれを用いた露光装置を得ること。【構成】 光源からの光束を複数の微小レンズを2次元的に配列した第1、第2オプティカルインテグレーターを介し第1集光レンズで集光して第3オプティカルインテグレーターに入射させ、該第3オプティカルインテグレーターからの光束を第2集光レンズで集光して照明したパターンを投影光学系により基板面上に投影転写する際、該第1、第2オプティカルインテグレーターの複数の微小レンズの相対的位置関係を変更し、該第3オプティカルインテグレーターの入射面の光強度分布を変更したこと。
請求項（抜粋）：
光源からの光束を複数の微小レンズを2次元的に所定のピッチで配列した第1オプティカルインテグレータと該第1オプティカルインテグレータと実質的に同じ配列ピッチの第2オプティカルインテグレータを介し第1集光レンズで集光して第3オプティカルインテグレータに入射させ、該第3オプティカルインテグレータからの光束を第2集光レンズで集光して被照射面上のパターンを照明し、該パターンを投影光学系により基板面上に投影転写する際、変更手段により該第1オプティカルインテグレータと第2オプティカルインテグレータの複数の微小レンズの相対的位置関係を変更することにより該第3オプティカルインテグレータの入射面の光強度分布を変更するようにしたことを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
