特許

J-GLOBAL ID：200903078886905771

光電子分光装置

発明者： 岩本 隆
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-013212
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214170
出願日： 2001年01月22日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】 光電子分光装置の空間分解能等の測定精度を高め、また、検出器と電子発生位置との位置合わせ、及び検出器と電子発生位置の軸と磁場の軸との軸調整を行う。【解決手段】 試料Sから発生した電子を検出する光電子分光装置において、試料Sから飛散した電子の空間的飛散状態を検出する電子検出手段6と、電子の軌道を調整する電子軌道調整手段11〜13とを備えた構成とし、電子検出手段6の出力を電子軌道調整手段11〜13にフィードバックし、電子検出手段6の検出分布に基づいて試料Sから飛散した光電子の空間的飛散状態を検出することによって光電子の検出器からのずれ、光電子の磁場からのずれを直接的に測定し、この測定に基づいて電子軌道調整手段11〜13を制御し、検出器21と電子発生位置との位置合わせ、及び検出器21と電子発生位置の軸と磁場の軸との軸調整を行い、光電子分光装置の空間分解能等の測定精度を向上させる。

請求項（抜粋）：

試料から発生した電子を検出する光電子分光装置において、試料から飛散した電子の空間的飛散状態を検出する電子検出手段と、前記電子の軌道を調整する電子軌道調整手段とを備え、前記電子検出手段の出力を前記電子軌道調整手段にフィードバックし、前記電子検出手段の検出分布に基づいて前記電子軌道調整手段を制御し、電子の軌道を調整することを特徴とする光電子分光装置。

IPC (4件)：

G01N 23/227 ,  H01J 37/244 ,  H01J 49/06 ,  H01J 49/48

FI (4件)：

G01N 23/227 ,  H01J 37/244 ,  H01J 49/06 ,  H01J 49/48

Fターム (35件)：

2G001AA01 ,  2G001BA08 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA06 ,  2G001DA09 ,  2G001DA10 ,  2G001EA04 ,  2G001FA01 ,  2G001GA04 ,  2G001GA08 ,  2G001GA10 ,  2G001GA11 ,  2G001GA13 ,  2G001JA05 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001JA16 ,  2G001JA20 ,  2G001KA01 ,  2G001KA13 ,  2G001PA07 ,  5C033NN10 ,  5C033NP01 ,  5C033NP04 ,  5C033NP06 ,  5C033RR04 ,  5C033RR08 ,  5C038FF05 ,  5C038FF08 ,  5C038FF11 ,  5C038KK07 ,  5C038KK10 ,  5C038KK17