特許
J-GLOBAL ID：200903078891139050
ラビング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-181186
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019519
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 基台の平坦度を向上させることにより、高さ調整を容易に行うことができ、使い易さを向上させたラビング装置を提供する。【解決手段】 本発明のラビング装置は、被処理物の表面をラビング処理するためのラビングロールと、このラビングロールを回転駆動する回転駆動手段と、水平方向に往復運動可能に構成され被処理物を載置するステージと、ラビングロールと回転駆動手段およびステージが設置された石製の基台とを具備してなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被処理物の表面をラビング処理するためのラビングロールと、該ラビングロールを回転駆動する回転駆動手段と、水平方向に往復運動可能に構成され前記被処理物を載置するステージと、前記ラビングロールと前記回転駆動手段および前記ステージが設置された石製の基台とを具備してなることを特徴とするラビング装置。
Fターム (2件)：
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