特許

J-GLOBAL ID：200903078894515141

プロセス制御装置およびプロセス制御方法

発明者： 大谷 雅樹 ,  武智 隆次 ,  丸目 康博 ,  伊野部 隆昌 ,  太田 勝也 ,  佐藤 康弘
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社 ,  菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-027326
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218473
出願日： 1999年02月04日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】 製品が各工程に仕掛かっている場合であっても加工順序や加工条件等の変更が行えるプロセス制御装置を提供することである。【解決手段】 プロセス制御装置は、進捗ファイルに対応する変更テーブルの有無を判定する変更テーブル有無判定部34と、変更テーブル有無判定部34によって変更テーブルがあると判定された場合に、変更テーブルに基づいて進捗ファイルの内容を変更する進捗ファイル変更部35と、進捗ファイル変更部35によって変更された進捗ファイルに基づいて製品の搬送装置を制御する搬送装置制御部43と、進捗ファイル変更部35によって変更された進捗ファイルに基づいて製品の製造装置を制御する製造装置制御部37とを含む。

請求項（抜粋）：

製造状況を表す進捗ファイルに対応して、進捗ファイルの変更内容を表す変更テーブルの有無を判定するための変更テーブル有無判定手段と、前記変更テーブル有無判定手段によって変更テーブルがあると判定された場合に、該変更テーブルに基づいて前記進捗ファイルの内容を変更するための進捗ファイル変更手段と、前記進捗ファイル変更手段によって変更された進捗ファイルに基づいて、製品の搬送装置を制御するための搬送装置制御手段と、前記進捗ファイル変更手段によって変更された進捗ファイルに基づいて、製品の製造装置を制御するための製造装置制御手段とを含むプロセス制御装置。

IPC (4件)：

B23Q 41/02 ,  G05B 15/02 ,  G06F 17/60 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

B23Q 41/02 Z ,  H01L 21/02 Z ,  G05B 15/02 Z ,  G06F 15/21 R

Fターム (19件)：

3C042RJ07 ,  3C042RJ11 ,  3C042RL11 ,  5B049BB07 ,  5B049CC21 ,  5B049DD01 ,  5B049DD05 ,  5B049EE05 ,  5B049FF03 ,  5B049FF04 ,  5B049FF09 ,  5B049GG04 ,  5B049GG07 ,  5H215AA01 ,  5H215AA06 ,  5H215BB09 ,  5H215CC05 ,  5H215CX01 ,  5H215KK04