特許

J-GLOBAL ID：200903078899197970

ダイヤモンド膜の研磨装置

発明者： 横田 正明
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-130183
公開番号（公開出願番号）：特開平7-328909
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【目的】 球面、非球面、トーリック面などの形状をした、母材上に形成されたダイヤモンド膜を、高精度な形状に、また、表面粗さに研磨加工できるようにしたダイヤモンド膜の研磨装置を提供する。【構成】 高温において金属との化学反応によりダイヤモンド膜の平滑化を行う研磨装置において、研磨過程におけるダイヤモンドとの接触部分の面積が、ダイヤモンドの総加工面積よりも小さくなるように、ダイヤモンドに対する金属加工工具の接触部分を構成していることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

高温において金属との化学反応によりダイヤモンド膜の平滑化を行う研磨装置において、研磨過程におけるダイヤモンドとの接触部分の面積が、ダイヤモンドの総加工面積よりも小さくなるように、ダイヤモンドに対する金属加工工具の接触部分を構成していることを特徴とするダイヤモンド膜の研磨装置。

IPC (4件)：

B24B 19/00 ,  B24B 1/00 ,  C30B 29/04 ,  C30B 33/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-041800
  
• 特開平2-160700
  
• 特開昭63-144940