特許
J-GLOBAL ID：200903078919442926
デバイス製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-294671
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125587
出願日： 1996年10月17日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 装置を制御するソフトウエアのバージョンの異なる装置間でパラメータファイルの互換を保つことと、ソフトウエアのバージョンアップを簡単にするデバイス製造装置および該装置を用いたデバイス製造方法を提供する。【解決手段】 一揃いの制御用パラメータを集めたパラメータファイルに応じて、ソフトウエアにより動作するデバイス製造装置において、ソフトウエアのバージョンを変えるとき、パラメータファイル構成ファイルが保有するパラメータIDとその属性情報を増減する手段と、パラメータファイル構成ファイルに存在しないパラメータについてはパラメータファイルから取り除く手段と、パラメータファイルに存在しないパラメータについては、パラメータIDと、パラメータファイル構成ファイルにあるディフォルト値のデータとをパラメータファイルに代入する手段とを有することを特徴とするデバイス製造装置。
請求項（抜粋）：
あらかじめ設定されている一揃いの制御用パラメータを集めたパラメータファイルに応じて、ソフトウエアにより動作するデバイス製造装置において、前記パラメータファイルは、パラメータIDとそのパラメータのデータを保有し、前記装置は、パラメータIDとそのパラメータの属性情報を保有するパラメータファイル構成ファイルを少なくとも一つもち、前記ソフトウエアのバージョンを変えるとき、前記パラメータファイル構成ファイルが保有するパラメータIDとその属性情報を増減する手段と、前記パラメータファイル構成ファイルに存在しないパラメータについては前記パラメータファイルから取り除く手段と、前記パラメータファイルに存在しないパラメータについては、パラメータIDと、前記パラメータファイル構成ファイルにあるディフォルト値のデータとを前記パラメータファイルに代入する手段とを有することを特徴とするデバイス製造装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G06F 9/06 410
, G06F 12/00 511
, H01L 21/02
H01L 21/30 502 G
, G06F 9/06 410 P
, G06F 12/00 511
, H01L 21/02 Z
