特許

J-GLOBAL ID：200903078936749920

静電容量式センサ

発明者： 長谷川 和男 ,  石黒 克之 ,  小野 泰一
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-379991
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212124
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】組立てが容易で、かつ安価な静電容量式センサを提供する。【解決手段】固定基板10に形成された固定電極と、該固定電極に対向配置され、該固定電極との距離が変位可能に設けられている可動電極30とを有し、前記固定電極と可動電極30とで構成される容量素子の静電容量に基づいて前記変位を検出する静電容量式センサにおいて、前記固定電極は、前記容量素子を形成し検出系に接続される検出電極11aと、接続電極11bとからなり、前記可動電極30は、前記検出電極11aに対向配置され、前記可動電極30の一部(30a)が前記接続電極11bと密着配置されることにより容量結合され、前記可動電極30には接続電極11bを介して前記容量素子に印加するロウレベルとハイレベルとに交互に変化する駆動信号が入力される。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

固定基板に形成された固定電極と、前記固定電極に対向配置され、該固定電極との距離が変位可能に設けられている可動電極とを有し、前記固定電極と可動電極とで構成される容量素子の静電容量に基づいて前記変位を検出する静電容量式センサにおいて、 前記固定電極は、前記容量素子を形成し検出系に接続される検出電極と、接続電極とからなり、 前記可動電極は、前記検出電極に対向配置されると共に、前記可動電極と前記接続電極とが容量結合されるように、前記可動電極の一部と前記接続電極とが絶縁膜を介して積層され、 前記容量素子を構成する前記検出電極と前記可動電極との間には、ロウレベルとハイレベルとに交互に変化する駆動信号が前記接続電極を介して印加されることを特徴とする静電容量式センサ。

IPC (4件)：

G01P15/125 ,  G01B7/00 ,  G01C9/06 ,  G01C9/12

FI (4件)：

G01P15/125 Z ,  G01B7/00 K ,  G01C9/06 C ,  G01C9/12 R

Fターム (12件)：

2F063AA03 ,  2F063AA37 ,  2F063DA05 ,  2F063DC08 ,  2F063DD05 ,  2F063HA01 ,  2F063HA10 ,  2F063KA01 ,  2F063LA13 ,  2F063LA19 ,  2F063LA22 ,  2F063LA23