特許

J-GLOBAL ID：200903078943205951

測定装置の動作方法

発明者： 犬島 喬 ,  リマンタス バイトクス ,  ▲ひろ▼木 正明 ,  佐藤 英司 ,  寺本 聡
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-320312
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165739
出願日： 1993年09月24日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【目的】 流体の流量を高い精度で計測するダイヤモンド薄膜を用いたセンサーの動作方法を提供する。【構成】 薄膜を用いた測定装置の動作方法であって、前記薄膜には抵抗体が設けられ、前記測温抵抗体からの出力をΔt(0)の時間において積算する第1の動作と、前記第1の動作の後、前記薄膜に熱量を供給する第2の動作と、前記第2の動作に伴って変化する前記抵抗体からの出力をΔt(2)の時間において積算する第3の動作と、前記第1の動作によって得られた積算値S(0)と前記第3の動作によって得られた積算値S(2)との差を演算する第4の動作と、を有することを特徴とする測定装置の動作方法である。

請求項（抜粋）：

薄膜を用いた測定装置の動作方法であって、前記薄膜には抵抗体が設けられ、前記測温抵抗体からの出力をΔt(0)の時間において積算する第1の動作と、前記第1の動作の後、前記薄膜に熱量を供給する第2の動作と、前記第2の動作に伴って変化する前記抵抗体からの出力をΔt(2)の時間において積算する第3の動作と、前記第1の動作によって得られた積算値S(0)と前記第3の動作によって得られた積算値S(2)との差を演算する第4の動作と、を有することを特徴とする測定装置の動作方法。

IPC (5件)：

G01F 1/696 ,  G01F 1/684 ,  G01F 1/692 ,  G01N 25/18 ,  G01P 13/02

FI (10件)：

G01N 25/18 K ,  G01N 25/18 F ,  G01P 13/02 Z ,  G01P 13/02 A ,  G01P 13/02 B ,  G01F 1/68 201 Z ,  G01F 1/68 101 B ,  G01F 1/68 104 B ,  G01F 1/68 104 C ,  G01F 1/68 104 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-252224
  
• 特開昭63-140921