特許

J-GLOBAL ID：200903078946565045

投影光学系および該投影光学系を備えた露光装置

発明者： 末永 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370947
公開番号（公開出願番号）：特開2002-244035
出願日： 2001年12月05日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】 レンズ外径の大型化を抑えつつ、高い像側開口数を確保することのできる高解像の投影光学系。【解決手段】 0.75以上の像側開口数を有し、300nm以下の波長を有する所定の光に基づいて第1物体(3)の像を第2物体上に形成する投影光学系。第1物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、正の屈折力を有する第4レンズ群G4とを備えている。第4レンズ群G4の最も第2物体側の光学面と第2物体との間の光軸に沿った距離D(mm)は、0.1<D<5の条件を満足する。

請求項（抜粋）：

0.75以上の像側開口数を有し、300nm以下の波長を有する所定の光に基づいて第1物体の像を第2物体上に形成する投影光学系において、第1物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、正の屈折力を有する第4レンズ群G4とを備え、前記第4レンズ群G4の最も第2物体側の光学面と前記第2物体との間の光軸に沿った距離D(mm)は、0.1<D<5 (1)の条件を満足することを特徴とする投影光学系。

IPC (5件)：

G02B 13/24 ,  G02B 13/14 ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G02B 13/24 ,  G02B 13/14 ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 F

Fターム (28件)：

2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA02 ,  2H087NA04 ,  2H087PA15 ,  2H087PA17 ,  2H087PB20 ,  2H087QA03 ,  2H087QA06 ,  2H087QA12 ,  2H087QA14 ,  2H087QA21 ,  2H087QA25 ,  2H087QA32 ,  2H087QA41 ,  2H087QA42 ,  2H087QA45 ,  2H087RA05 ,  2H087RA12 ,  2H087RA13 ,  2H087RA42 ,  2H087UA03 ,  2H087UA04 ,  2H087UA09 ,  5F046BA04 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046DA27

引用特許：

審査官引用 (5件)

• マイクロリソグラフィーの結晶レンズと投影形露光装置とを具備した対物レンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-337363   出願人：カール・ツアイス・スティフツング
• 収束レンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-277560   出願人：旭光学工業株式会社
• 投影光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-295556   出願人：株式会社ニコン
• 液浸型露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-121757   出願人：株式会社ニコン
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-002358   出願人：株式会社ニコン