特許

J-GLOBAL ID：200903078946934547

新規なジ(メタ)アクリル酸エステルおよびその(共)重合体

発明者： 茶本 茂廊 ,  森川 敏行
出願人/特許権者： ヤスハラケミカル株式会社
代理人 (1件)： 白井 重隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-347166
公開番号（公開出願番号）：特開2003-147019
出願日： 2001年11月13日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 高解像度付与性、耐ドライエッチング性、レジストの透明性、基板などとの密着性などの性能を向上させた高性能フォトレジストの材料を提供すること。【解決手段】 p-メンタン-1,8-ジ(メタ)アクリレートなどの新規な第三級テルペン系ジ(メタ)アクリル酸エステルおよびその(共)重合体。

請求項（抜粋）：

下記式(1)に示す環状テルペン基を有する新規なジ(メタ)アクリル酸エステル。【化1】(上記式中、Tは環状テルペン基、X1,X2は互いに同一または異なりメチル基または水素原子を表す。)

IPC (2件)：

C08F 20/20 ,  C07C 69/54

FI (2件)：

C08F 20/20 ,  C07C 69/54 B

Fターム (23件)：

4H006AA01 ,  4H006AB46 ,  4H006BJ20 ,  4J100AB07Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL03Q ,  4J100AL65P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA04Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC07P ,  4J100BC12P ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100JA01 ,  4J100JA05 ,  4J100JA07 ,  4J100JA11 ,  4J100JA33 ,  4J100JA38 ,  4J100JA39