特許
J-GLOBAL ID:200903078962489820
振動ジャイロ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡田 全啓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-148475
公開番号(公開出願番号):特開平11-325913
出願日: 1998年05月12日
公開日(公表日): 1999年11月26日
要約:
【要約】【課題】 振動子および振動子の支持構造が簡単で、量産加工に適し、安定した振動特性を有すると共に、検出感度も向上させることができる振動ジャイロを提供する。【解決手段】 振動ジャイロ10は、振動子12を含む。振動子12は、矩形板状の第1の振動体14を有する。第1の振動体14は、その長さ方向の両端側に板状の第2の振動体16,18が形成され、その長さ方向の中央部に板状の第3の振動体20が形成される。第2の振動体16,18および第3の振動体20は、第1の振動体14の主面から上方に垂直に延び設けられる。第1の振動体14は、その一方主面に駆動用圧電素子24が配置され、その他方主面に検出用圧電素子30,32が配置される。駆動用圧電素子24に駆動信号を印加して第1の振動体14を屈曲振動させ、コリオリ力による第1の振動体14のねじれ歪みに対応した信号を検出用圧電素子30,32から得る。
請求項(抜粋):
板状の第1の振動体、前記第1の振動体の長さ方向の一端側および他端側に配置され、前記第1の振動体の主面に垂直に形成される板状の第2の振動体、および前記第1の振動体の幅方向の一端側で且つその長さ方向の中央部に配置され、前記第1の振動体の主面に垂直に形成される板状の第3の振動体を含む振動子を備えたことを特徴とする、振動ジャイロ。
IPC (2件):
FI (2件):
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