特許
J-GLOBAL ID：200903078969994695

大型基板フラットパネル検査システム

発明者：
バウアーズ, ジェラルド エム.

バウアーズ, ジェラルド エム. について

, 
ランフランキー, ジョセフ ヘンリー

ランフランキー, ジョセフ ヘンリー について

, 
トーマス, クラレンス イー.

トーマス, クラレンス イー. について

, 
ライト, ポール エイチ.

ライト, ポール エイチ. について


出願人/特許権者：
ネクステック ソリューションズ, インコーポレイテッド

ネクステック ソリューションズ, インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-522820
公開番号（公開出願番号）：特表2008-507702
出願日： 2005年07月25日
公開日（公表日）： 2008年03月13日
要約：
大型基板フラットパネル検査システムに関して、方法および装置が記載される。該方法は、電子シャッタを有する撮像装置を含む機械を用いて対象物を検査する方法であって、第一の位置と第二の位置との間の該対象物の表面にわたって該撮像装置を走査することと、少なくとも1つの発光ダイオードをストロボ発光して、該第一の位置と該第二の位置との間の該対象物を照明することと、該電子シャッタの動作を、該ストロボ発光された少なくとも1つの発光ダイオードと同期化することとを包含し、i)該少なくとも1つの発光ダイオードをストロボ発光することは、該機械上に位置する少なくとも1つのインデックスマークを用いて、該少なくとも1つの発光ダイオードを点灯することを含み、ii)走査することは、該第一の位置と該第二の位置との間で、該撮像装置を連続的に移動させることを含む。
請求項（抜粋）：
電子シャッタを有する撮像装置を含む機械を用いて、対象物を検査する方法であって、 第一の位置と第二の位置との間の該対象物の表面にわたって該撮像装置を走査することと、 少なくとも1つの発光ダイオードをストロボ発光して、該第一の位置と該第二の位置との間の該対象物を照明することと、 該電子シャッタの動作を、該ストロボ発光された少なくとも1つの発光ダイオードと同期化することと を包含し、 i)該少なくとも1つの発光ダイオードをストロボ発光することは、該機械上に位置する少なくとも1つのインデックスマークを用いて、該少なくとも1つの発光ダイオードを点灯することを含み、ii)走査することは、該第一の位置と該第二の位置との間で、該撮像装置を連続的に移動させる ことを含む、方法。
IPC (1件)：
G01N 21/88
FI (1件)：
G01N21/88 Z
Fターム (17件)：
2G051AA88 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AC11 ,  2G051AC15 ,  2G051BA01 ,  2G051BB03 ,  2G051BB05 ,  2G051BC02 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 米国特許第5,764,209号明細書
  • 米国特許出願公開第2003/014070号明細書
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM