特許

J-GLOBAL ID：200903078973244641

低温プラズマ発生装置

発明者： 野村 信之助
出願人/特許権者： 野村電子工業株式会社 ,  株式会社ヲサメ工業
代理人 (1件)： 鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-355845
公開番号（公開出願番号）：特開2002-159844
出願日： 2000年11月22日
公開日（公表日）： 2002年06月04日
要約：

【要約】【課題】 同軸型の低温プラズマ発生装置において、特別な冷却手段を設けることなく放電部に放電平衡を生じさせないようにして温度上昇を抑制し、高収率のオゾンを発生し得るようにする。【解決手段】 低温プラズマ発生装置は、電極1と誘電体2を有する内側放電部3と誘電体4と電極5を有する外側放電部6を同心状に備え、両放電部の両端を封止体10a、10bで閉じ、一方の封止体10aに貫設した導通管11を電極1の内側のスペース7に接続し、他方の封止体10bの接続空間15で両放電部間のスペース8に接続し、スペース8の放電空間で放電作用により生じたオゾンを含む媒体を一方の封止体の排出管12から排出するように構成されている。

請求項（抜粋）：

半径方向に所定の空間を置いて内側放電部とその外側に外側放電部を同心状に設けて両端を封止体で封止し、内側放電部は筒状の誘電体の内側に筒状の内側電極を挿置し、外側放電部は筒状の誘電体の外側に筒状の外側電極をそれぞれ挿置して形成し、内側放電部の筒状誘電体内に封止体の一方を貫通する導通管を接続して空気又は酸素のような媒質を導入し、他方の封止体で反転させて外側放電部との空間を流通させ、両電極間の放電作用で媒質から生じた媒体を一方の封止体に設けた排出部から排出するように構成した低温プラズマ発生装置。

IPC (4件)：

B01J 19/08 ,  C01B 13/11 ,  H01T 23/00 ,  H05H 1/24

FI (4件)：

B01J 19/08 E ,  C01B 13/11 E ,  H01T 23/00 ,  H05H 1/24

Fターム (22件)：

4G042CA01 ,  4G042CC03 ,  4G042CC09 ,  4G042CC16 ,  4G042CE04 ,  4G075AA03 ,  4G075AA42 ,  4G075BA01 ,  4G075BA06 ,  4G075CA15 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EB27 ,  4G075EB41 ,  4G075EC01 ,  4G075EC06 ,  4G075EC21 ,  4G075EE01 ,  4G075FB02 ,  4G075FB04 ,  4G075FB06 ,  4G075FC15