特許
J-GLOBAL ID：200903078975367082
光測定方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-055416
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260678
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 全反射分光法で実用的な励起スペクトルを測定する光測定方法及びその装置を提供する。【構成】 入射角度や検出角度を調整することにより、入射光が試料に照射される表面、あるいは界面から一定の深さの試料領域のみを測定する。
請求項（抜粋）：
光源からの複数の波長の光で照射した試料の同一の深さの領域から生じた検出光を測定することを特徴とする光測定方法。
IPC (4件)：
G01N 21/27
, G01N 21/00
, G01N 21/64
, H01L 21/66
