特許
J-GLOBAL ID：200903078979332321
ウエハ研磨装置および研磨面のドレッシング方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-097777
公開番号（公開出願番号）：特開平7-299731
出願日： 1994年05月11日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：
【要約】【目的】 ウエハ研磨装置および研磨面のドレッシング方法に係り、研磨布の目づまりや凹凸を確実に除去し、ウエハの品質を向上する。【構成】 ヘッド2を研磨面5aから離間させる離間手段4と、ヘッド2が研磨面5aから離間させられたときに、研磨面5aに圧接させられるドレッシングパッド21とを設けることにより、ウエハ3の研磨作業とドレッシング作業とを独立して実施し、ドレッシング作業によって発生するドレッシングパッド21からの砥粒等の落下物がウエハ3の被研磨面に及ぼす悪影響を回避する。
請求項（抜粋）：
ヘッドに支持されたウエハを、研磨盤の研磨面に圧接させた状態で、前記ヘッドと研磨面とを相対移動させることによって摺動させるとともに、前記ウエハの表面と研磨面との間に研磨剤を供給してウエハを研磨する研磨装置において、前記ヘッドに、該ヘッドを研磨面から離間させる離間手段が設けられるとともに、該離間手段によってヘッドが研磨面から離間させられたときに、研磨盤の研磨面に圧接させられるドレッシングパッドが設けられていることを特徴とするウエハ研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 321
