特許
J-GLOBAL ID:200903078986662205

バイモルフ型圧電素子およびユニモルフ型圧電素子

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-141835
公開番号(公開出願番号):特開2004-349305
出願日: 2003年05月20日
公開日(公表日): 2004年12月09日
要約:
【課題】スルーホールを用いず、かつ安定した歩留まりの低コストで、動作上の信頼性が確保されたバイモルフ型圧電素子およびユニモルフ型圧電素子を提供する。【解決手段】両面に電極を形成した矩形状の圧電材料を複数枚積層し、向かい合う電極同士が互いに二つの異なる電位に接続されて駆動されるように電極構成された積層圧電素子二つと、両者の間に弾性を有する導電性のシム層を接合し、双方の圧電素子に発生する歪みが互いに逆になるような電圧印加により屈曲変位を生じさせるバイモルフ型圧電素子であって、前記シム層と接着される側の積層圧電素子の電極は、長さ方向の一方の端部より一定の間隔をもって形成されており、この電極が形成されない圧電素子の端部分がシム層から長さ方向にはみ出て接合されたバイモルフ型圧電素子とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
両面に電極を形成した矩形状の圧電材料を複数枚積層し、向かい合う電極同士が互いに二つの異なる電位に接続されて駆動されるように電極構成された積層圧電素子二つの間に弾性を有する導電性のシム層を接合し、前記二つの圧電素子に発生する歪みが互いに逆になるような電圧印加により屈曲変位を生じさせるバイモルフ型圧電素子であって、前記シム層と接着される側の積層圧電素子の電極は、長さ方向の一方の端部より一定の間隔をもって形成されており、この電極が形成されない圧電素子の端部分がシム層から長さ方向にはみ出て接合されたことを特徴とするバイモルフ型圧電素子。
IPC (1件):
H01L41/09
FI (2件):
H01L41/08 M ,  H01L41/08 C

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