ダイシング装置におけるワ-ク切断方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-152183
公開番号（公開出願番号）：特開2000-003888
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】ブレードによる無駄切り部分を極力少なくして、ワークの切断時間を短縮することができるダイシング装置におけるワーク切断方法を提供する。【解決手段】本発明によれば、まず、ブレード68、70の間隔を全ピッチに対応する間隔に設定し、一方側の1-1ストリートをブレード70で、他方側の2-1ストリートをブレード68で同時に切断する。次に、ブレード68を1ピッチ分だけブレード70に向けて移動させると共に、ブレード70を1ピッチ分だけブレード68に向けて移動させて、1-2ストリートをブレード70で、2-2ストリートをブレード68で同時に切断する。この1ピッチ分互いに近づけて切断する動作をあと9回繰り返して行う。そして、残りの8本のストリートについて、ブレード68とブレード70とを3ピッチ分ずらして間隔設定し、1-12〜15ストリートをブレード70で、2-12〜15ストリートをブレード68で同時に切断する。

請求項（抜粋）：

2枚のブレードをY軸方向に対向配置すると共に2枚のブレードの間隔をワークの切断線の全ピッチ分に対応する間隔に設定した後、該2枚のブレードとワークとをX軸方向に相対的に移動させて前記2枚のブレードで前記ワークの両端の切断線を2本同時に切断し、前記2本の切断線の切断終了後に、前記2枚のブレードのうち一方のブレードを他方のブレードに向けて切断線の1ピッチ分だけY軸方向に移動させると共に、他方のブレードを一方のブレードに向けて切断線の1ピッチ分だけY軸方向に移動させて次の切断線を2本同時に切断し、この切断動作を複数回繰り返して複数本の切断線を切断した後、残りの複数本の切断線において、2枚のブレードを所定間隔をもってY軸方向に対向配置し、該2枚のブレードとワークとをX軸方向に相対的に移動させながら、2枚のブレードで前記残りの切断線を2本同時に切断し、前記2本の切断線の切断終了後に、前記2枚のブレードをY軸の同一方向に切断線の1ピッチ分だけ移動させて次の切断線を2本同時に切断し、この切断動作を繰り返して残りの切断線を切断することを特徴とするダイシング装置におけるワーク切断方法。

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