表示装置用電極板の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上田章三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-178679
公開番号（公開出願番号）：特開平7-036051
出願日： 1993年07月20日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】軽量かつ耐衝撃性に優れ屈曲と伸縮の少ないプラスチック板を基材としてガスの透過による表示画面の劣化がなくしかも製造工程に由来する反りのない電極板の製造方法を提供すること。【構成】透明電極2が設けられたプラスチック基板1上に、金属セリウムをターゲットとしアルゴンガス雰囲気に酸素ガスを導入しながらDCスパッタリングにより二酸化セリウム薄膜3を成膜して電極板を製造した。この方法によればプラスチック基板1の表面温度を60°C以下に保って二酸化セリウム薄膜3を成膜できるため、プラスチック基板1に反りが生ずることなくプラスチック基板1に耐有機溶剤性とガスバリヤー性を付与することが可能となる。

請求項（抜粋）：

プラスチック基板上に二酸化セリウム薄膜と透明電極とを備える表示装置用電極板の製造方法において、金属セリウムをターゲットとし、酸素ガスを導入しながら直流スパッタリングにより上記二酸化セリウム薄膜を形成することを特徴とする表示装置用電極板の製造方法。

IPC (3件)：

G02F 1/1343 , G02F 1/1335 505 , G02F 1/1335 520

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