特許

J-GLOBAL ID：200903079008031267

静電型インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： 清水 明
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-314743
公開番号（公開出願番号）：特開2002-120368
出願日： 2000年10月16日
公開日（公表日）： 2002年04月23日
要約：

【要約】【課題】 サージ回避構造をSi支持基板側に作り込み、サージ許容電荷量を大幅に向上させサージによる個別電極やその周りの絶縁膜等の破壊を低減又は防止する。これにより歩留まりの向上,信頼性の向上を図る。【解決手段】 静電型インクジェットヘッド1はP型の支持基板2上にシリコン酸化膜3及び個別電極4を形成する。この個別電極4は支持基板2の表面上のN型領域14にオーミックコンタクトを形成する。個別電極4(正確には保護膜5)の上には適宜のギャップ6を介し振動板7が配設され、振動板7の上部にはインク15の液室17を介してノズル16を有するノズル板9が配設される。個別電極4と振動板7との間に静電力を生じさせ、これにより振動板7を変位させてインク15をノズル16から吐出する。

請求項（抜粋）：

記録液(インク)を吐出するノズルに連通する液室に接して配設される振動板と、該振動板とギャップを介して相対向して配置される個別電極を搭載形成する支持基板とを有し、前記個別電極側に発生する静電力により前記振動板を変形させて前記記録液をノズルから吐出させて記録媒体に記録を行う静電型インクジェットヘッドであって、前記支持基板側には前記ヘッドの製造過程又はヘッドの製品使用段階において各ビットの前記個別電極にのったサージを前記支持基板側へ逃がすサージ回避構造が形成されることを特徴とする静電型インクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (11件)：

2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG54 ,  2C057AG82 ,  2C057AG91 ,  2C057AP02 ,  2C057AP21 ,  2C057AP31 ,  2C057AP52 ,  2C057BA04 ,  2C057BA15