特許

J-GLOBAL ID：200903079013366854

ウエハの認識装置及びウエハの認識方法

発明者： 向川 泰和
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-093675
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284359
出願日： 1997年04月11日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】 ウエハ表面に刻字された刻字内容を、ウエハ上に酸化膜等が成膜された場合であっても確実に読み取ることができるようなウエハ認識装置を得る。【解決手段】 酸化膜3が成膜されたウエハ1をウエハステージ2上に設置し、酸化膜3の表面に、レーザー光照射部4によってレーザー光を照射する。すると、凹部13が形成されている領域に照射されたレーザー光は、凹部13の呈する段差に起因して酸化膜3の表面で散乱される。従って、レーザー光照射を走査させることによって、凹部13に起因する散乱光を散乱光受光部5で受光することができる。次に、散乱光受光部5で受光した散乱光の分布に関する情報を電位に変換し、この電位分布をOCR処理部6でOCR処理することにより、酸化膜3の表面に形成されている凹部13の形状を文字情報として読み取ることができる。

請求項（抜粋）：

段差を以て標識が付された表面を有するウエハの前記表面に光を照射する光照射部と、前記表面からの前記光の散乱光を受光することにより、前記標識を読み取る受光部とを備えるウエハの認識装置。