特許
J-GLOBAL ID:200903079018171644

静電トルカ型加速度計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 草野 卓 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-183920
公開番号(公開出願番号):特開平11-023611
出願日: 1997年07月09日
公開日(公表日): 1999年01月29日
要約:
【要約】【課題】 バイアス電圧をトルカ電極に印加する静電トルカ型加速度計を提供する。【解決手段】 ペンジュラムPが変位することにより入力加速度を検出する静電トルカ型加速度計において、第1のトルカ電極Aおよび第2のトルカ電極BのペンジュラムP側に形成される可動電極側にバイアス電圧を印加し、第1のトルカ電極Aの固定電極側および第2のトルカ電極Bの固定電極側に位置検出信号を印加することを特徴とする静電トルカ型加速度計。
請求項(抜粋):
ペンジュラムが変位することにより入力加速度を検出する静電トルカ型加速度計において、第1のトルカ電極および第2のトルカ電極のペンジュラム側に形成される可動電極側にバイアス電圧を印加し、第1のトルカ電極の固定電極側および第2のトルカ電極の固定電極側に位置検出信号を印加することを特徴とする静電トルカ型加速度計。
IPC (3件):
G01P 15/13 ,  G01P 15/02 ,  G01P 15/125
FI (3件):
G01P 15/13 ,  G01P 15/02 A ,  G01P 15/125
引用特許:
審査官引用 (4件)
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