特許

J-GLOBAL ID：200903079027125094

ポジ型感光性組成物

発明者： 青合 利明 ,  山中 司 ,  小久保 忠嘉
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-049258
公開番号（公開出願番号）：特開平6-266107
出願日： 1993年03月10日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】 露光後のベークによる膜収縮及び現像時の膜減りが少なく、良好なプロファイルと高解像力を有するポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 ポジ型感光性組成物が、(a)水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3,000以下の低分子酸分解性溶解阻止化合物、を含有し、該化合物(c)が、酸で分解し得る基を少なくとも3個有し、該酸分解性基間の距離が最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を9個以上経由する化合物であり、該酸分解性基を含む基少なくとも3個が、同一の飽和炭素原子を元に分枝していることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

(a)水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3,000以下の低分子酸分解性溶解阻止化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、酸で分解し得る基を少なくとも3個有し、該酸分解性基間の距離が最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を9個以上経由する化合物であり、該酸分解性基を含む基少なくとも3個が、同一の飽和炭素原子を元に分枝していることを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027