特許
J-GLOBAL ID：200903079040281844
表面弾性波フィルタ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-234825
公開番号（公開出願番号）：特開平10-079638
出願日： 1996年09月05日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：
【要約】【課題】 工程の簡素化を図るとともに、Auコストの低減と信頼性の向上を図り得る表面弾性波フィルタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 圧電基板11と、この圧電基板11上に形成されるAl-Cu合金膜12上にNi膜13を形成した第1成膜の櫛歯電極と、この櫛歯電極の一部に形成されるNiメッキ膜14と薄いAuメッキ膜15からなる第2成膜のフリップチップ接続用バンプとを具備する。
請求項（抜粋）：
(a)圧電基板と、(b)該圧電基板上に形成されるAl-Cu合金膜上にNi膜を形成した第1成膜の櫛歯電極と、(c)該櫛歯電極の一部に形成されるNiメッキ膜と薄いAuメッキ膜からなる第2成膜のフリップチップ接続用バンプとを具備することを特徴とする表面弾性波フィルタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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