基板搬送機構及びそれを用いた配向処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-339553
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184833
出願日： 1994年12月30日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】【目的】長尺なフィルム基板を歪みが生じないように搬送し、ラビング不良が発生しないようにする。【構成】全周にわたって吸引孔を有するエンドレスベルト37の一部は、真空ボックス31の上面側開口部を覆うように配置されている。フィルム基板22は、真空ボックス31の上面側開口部の上側において、エンドレスベルト37の上面に吸着されて搬送され、その搬送方向に対して所定の角度傾斜して配置されたラビングロール26によってララビングされる。この場合、フィルム基板22には、その搬送速度に応じた力と、ラビングロール26の回転速度に応じた力との合成力が加わるが、フィルム基板22を歪みが生じないように搬送することができる。

請求項（抜粋）：

吸着手段を有するエンドレスベルトと、前記エンドレスベルトを走行させる走行手段とを具備し、前記エンドレスベルトの上面に基板を吸着させて搬送することを特徴とする基板搬送機構。

IPC (3件)：

G02F 1/1337 500 , B65G 15/58 , B65H 23/24

引用特許：

審査官引用 (5件)

配向処理方法およびその処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-279203 出願人：カシオ計算機株式会社
特開平2-235023
特開昭63-262681

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