切断用加工液および切断用組成物、ならびにそれを用いた固体材料の切断方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-064796
公開番号（公開出願番号）：特開平10-259395
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】リサイクル使用した場合においても粘度変化、切断用組成物のまわり、加工精度、取り扱い性、切断後の洗浄性、組成物中の砥粒の拡散性、ならびに環境または人体に対する安全性に優れた切断用水溶性加工液および切断用組成物、ならびに加工精度が高く、生産性の高い固体材料の切断方法の提供。【解決手段】(1)ポリアルキレングリコールおよびその誘導体からなる群から選ばれる少なくとも1種類のグリコール化合物、(2)粘性改良剤、および(3)水を含んでなる切断用加工液であって、グリコール化合物の含有量が加工液の全重量を基準にして90重量%を超え、99.998重量%以下であることを特徴とする切断用加工液、およびその切断用加工液と砥粒を含んでなる切断用組成物、およびその切断用組成物を用いた固体材料の切断方法。

請求項（抜粋）：

(1)ポリアルキレングリコールおよびその誘導体からなる群から選ばれる少なくとも1種類のグリコール化合物、(2)粘性改良剤、および(3)水を含んでなる切断用加工液であって、グリコール化合物の含有量が加工液の全重量を基準にして90重量%を超え、99.998重量%以下であることを特徴とする切断用加工液。

IPC (12件)：

C10M169/04 , B24C 11/00 , B26F 3/00 , H01L 21/304 311 , H01L 21/301 , C10M105:18 , C10M145:22 , C10M145:40 , C10N 20:02 , C10N 20:04 , C10N 40:20 , C10N 40:22

FI (5件)：

C10M169/04 , B24C 11/00 D , B26F 3/00 G , H01L 21/304 311 W , H01L 21/78 Q

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