特許
J-GLOBAL ID：200903079043476140

低温プラズマ発生装置

発明者：
野村 信之助

野村 信之助 について

, 
佐竹 忠義

佐竹 忠義 について

, 
野村 洋介

野村 洋介 について


出願人/特許権者：
野村電子工業株式会社

野村電子工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-156584
公開番号（公開出願番号）：特開2000-348848
出願日： 1999年06月03日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 無声放電式の低温プラズマ発生装置における2次放電作用による窒素酸化物の生成と放電部の下流側端の発熱による温度上昇を防止し、高収率でオゾン又は水酸基等の発生を可能とする装置を得る。【解決手段】 低温プラズマ発生装置は、同心状にガラス保護管1内に外側電極2を誘電体3の外周に挿置した外側放電部4と、内側電極6を誘電体5内に挿置した内側放電部7とを外側空間8、内側空間9を置いて所定の空間を以って保護し、両端を封止体10a、10bで封止して成る。封止体10aの内部には導入路11を設けて導入室13を介して外側空間8へ連通し、内側空間9は排出室14を介して排出路12へ連通し、他方の封止体10b内では連通室15を介して外側空間8を内側空間9に連通する。外側電極2には多数の小孔2aが設けられている。
請求項（抜粋）：
筒状の保護部材の内側にそれぞれ半径方向に所定の空間を置いて外側放電部と内側放電部を同心状に設けて両端を封止体で封止し、外側放電部は筒状の外側電極を筒状の誘電体の外側に挿置し、内側放電部は筒状の誘電体の内側に筒状の内側電極を挿置してそれぞれ形成し、一方の封止体に設けた導入路を各空間に連通させて空気又は酸素のような媒質を導入し、両電極間の放電作用で媒質から生じた媒体を各空間に流通して他方の封止体に設けた排出路から排出するように構成して成る低温プラズマ発生装置。
IPC (4件)：
H01T 23/00 ,  C01B 13/11 ,  A23L 3/005 ,  A61L 9/015
FI (4件)：
H01T 23/00 ,  C01B 13/11 C ,  A23L 3/005 ,  A61L 9/015
Fターム (21件)：
4B021LT03 ,  4B021MC01 ,  4B021MK01 ,  4B021MK13 ,  4B021MP06 ,  4C080AA07 ,  4C080BB02 ,  4C080BB05 ,  4C080CC01 ,  4C080HH02 ,  4C080JJ01 ,  4C080KK02 ,  4C080LL01 ,  4C080MM08 ,  4C080QQ17 ,  4G042CA01 ,  4G042CC03 ,  4G042CC06 ,  4G042CC10 ,  4G042CC16 ,  4G042CC20
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • オゾン発生装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-165490   出願人：株式会社明電舎
  • オゾン発生装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-219606   出願人：日本オゾン株式会社
  • オゾン発生装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-127004   出願人：財団法人周南地域地場産業振興センター, 協同組合エスティエム
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