熱処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043199
公開番号（公開出願番号）：特開平6-236854
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】【目的】縦型の熱処理炉を複数用いる場合に装置全体の占有面積を狭くすることができ、またウエハキャリアを効率よく活用することのできる熱処理装置を提供すること。【構成】縦型の熱処理炉31、ウエハボート33及びウエハ移載機34を備えた熱処理ユニット部を複数例えば2個横に並べて配置し、各熱処理ユニット部3A、3B毎に、キャリアCを例えば3段載置できるウエハ受け渡し部4A、4Bを設ける。各ウエハ受け渡し部4A、4Bの上方領域とこれらの間にキャリア収納棚51、52を配置し、これらキャリア収納棚51、52に臨む領域を移動するようにキャリア移載機7を設け、更にその手前側にキャリアステージ6を設け、キャリア収納棚51、52、キャリア移載機7及びキャリアステージ6を熱処理ユニット部3A、3Bに対して共通に使用する。

請求項（抜粋）：

縦型の熱処理炉、被処理体ボート及び被処理体移載機を備えた熱処理ユニット部と、この熱処理ユニット部に容器移載機の移動領域を介して対向配置され、複数の被処理体を収納した容器が外部との間で搬出入される容器受け渡し部と、前記容器移載機と熱処理ユニット部との間に配設された被処理体受け渡し部と、この被処理体受け渡し部の上方に設けられた容器収納部と、を有し、容器移載機により容器受け渡し部、被処理体受け渡し部及び容器収納部の間で容器の受け渡しを行うと共に、被処理体移載機により、被処理体受け渡し部に置かれた容器と被処理体ボートとの間で被処理体の受け渡しを行う熱処理装置において、前記熱処理ユニット部を複数横に並べて配置すると共に、前記被処理体受け渡し部を各熱処理ユニット部毎に設け、前記容器収納部を各被処理体受け渡し部の上方領域に跨って配置して、各熱処理ユニット部に対して共用し、前記容器移載機を、各熱処理ユニット部の並びに沿って移動自在に構成して、各熱処理ユニット部に対して共用することを特徴とする熱処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/22 , H01L 21/68

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平2-082520
特開平4-234143
特開平4-133422

審査官引用 (3件)

特開平2-082520
特開平4-234143
特開平4-133422

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