特許

J-GLOBAL ID：200903079046904665

機械式インターフエース装置

発明者： 河野 等 ,  奥野 敦 ,  津田 正徳 ,  林 満弘 ,  山下 哲平 ,  村田 正直 ,  田中 幹 ,  森田 日也
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-240861
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082624
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 ポートドアの外部に特別なシール構造を設けなくても、ポッド内ガス置換を行なうことができる機械式インターフェース装置を提供する。【構成】 本体ケースに設けられ被処理物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート3上に載置されてポートを覆うポッド10、ポッド開口に内嵌して閉鎖可能なポッドドア21、本体ケース内に昇降可能に支持され最上昇時にポートプレート3に係合してポートを閉鎖するポートドア31とを備え、ポートプレートにはポート周面に開口するガス供給口とガス排気口が形成され、ポートドアがポッドドアをポッド内から本体ケース内へまたその逆へ搬送する機械式インターフェース装置において、ポットドアをポット開口内に固定する手段は、ポッドの開口内周面に形成されたアーム嵌合部に対して進退するロックアームとそれを進退および昇降駆動する機構を有し、ポートドアはポッドドアとの間にポッドドアの昇降空間を区画している。

請求項（抜粋）：

本体ケースに設けられ被処理物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート上に載置されて前記ポートを覆うポッド、このポッドの開口に内嵌して閉鎖可能なポッドドア、このポットドア内に設けられ当該ポットドアを上記ポッドの開口内に固定する手段、上記本体ケース内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレートに係合して前記ポートを閉鎖するポートドアとを備え、上記ポートプレートには上記ポート周面に開口するガス供給口とガス排気口が形成され、上記ポートドアが上記ポッドドアを上記ポッド内から本体ケース内へまたその逆へ搬送する機械式インターフェース装置において、上記固定する手段は、上記ポッドの開口内周面に形成されたアーム嵌合部に対して進退するロックアームと当該ロックアームを進退および昇降駆動する機構を有し、上記ポートドアは上記ポッドドアとの間に上記ポッドドアの昇降空間を区画することを特徴とする機械式インターフェース装置。