静電アクチュエータ及びその制御方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-339486
公開番号（公開出願番号）：特開平8-186988
出願日： 1994年12月29日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】【目的】固定子と移動子の間に発生する静電気による吸引力、反発力により移動子を駆動する静電アクチュエータにおいて、移動子に対する駆動力の向上により、作動の安定性の確保と供給電圧の低減を図る【構成】絶縁層(19)に複数の電極(20a〜20c)を配置してなる固定子(12)と、絶縁層(16)に複数の電極(17a〜17c)を配置してなり、固定子に対向して配置された移動子(11)とを備える。移動子の電極に固定的に電圧を印加し、固定子の電極に極性を切り替えて電圧を印加して移動子を駆動する。上記固定子及び/又は移動子の電極の間隔を不均一とする。

請求項（抜粋）：

絶縁層に複数の電極を配置してなる固定子と、絶縁層に複数の電極を配置してなり、上記固定子に対向して配置された移動子とを備え、移動子の電極に固定的に電圧を印加する一方、固定子の電極に極性を切り替えて電圧を印加して移動子を駆動する静電アクチュエータであって、上記固定子及び/又は移動子の電極の間隔を不均一としたことを特徴とする静電アクチュエータ。

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